基本信息

安全与环保

• 安全特性：无色无味、不燃、高温下可能释放氟化氢（需通风处理）
• 环境影响：符合《中国大气污染防治法》废气回收要求
• 应急处理：泄漏时需穿戴防化服、禁止明火，参照《危险化学品泄漏应急预案》
• 运输标识：UN1982，压缩气体（第2.2类非易燃无毒气体）

应用场景

• 核心用途：半导体蚀刻（硅/氮化硅）、电子器件清洗、太阳能电池生产