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六氟丁二烯（C4F6）
基本信息
| 项目 | 数据 |
|---|---|
| 中文名称 | 六氟丁二烯 |
| 英文名称 | Hexafluoro-1,3-butadiene |
| 化学式 | C4F6 |
| 分子量 | 162.03 |
| CAS编号 | 685-63-2 |
| 联合国编号 | 3160（液化气体） |
| 纯度规格 | 【填写：>99.5%】 |
安全与环保
- 安全特性：无色、不燃，分解可能产生氟化氢（需密闭操作）
- 环境影响：废气处理需符合《电子工业污染物排放标准》
- 应急处理：泄漏时使用专用吸附剂，避免接触水
- 运输标识：UN3160，液化气体（第2.1类易燃气体）
应用场景
- 核心用途：【如“3D NAND存储器蚀刻”“OLED面板制造”】
- 技术优势：高蚀刻精度、低全球变暖潜能值（GWP）
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